Лабораторный практикум «Ионное легирование кремния»

Целью настоящего лабораторного практикума является ознакомление с технологией ионной имплантации, освоение физических основ технологического процесса и овладение навыками расчета распределений ионов в твердых телах с помощью программы компьютерного моделирования методом Монте-Карло. Практикум предназначен для студентов физического факультета ННГУ, обучающихся по направлениям подготовки: 210100 – «Электроника и наноэлектроника», 222900 – «Нанотехнологии и микросистемная техника».

Имя файла: praktikum.pdf

Размер файла: 802.88 Kb

Если закачивание файла не начнется через 10 сек, кликните по этой ссылке