Курс лекций по ионной имплантации

      В курсе лекций изложены процессы, лежащие в основе применения ионных пучков (ионной имплантации и ионного облучения) для создания  светоизлучающих структур на базе кремния и оксида кремния, а также для управления их характеристиками. Излагаются механизмы фото- и электролюминесценции нанокристаллов кремния. Описаны основы методов ионно-лучевого синтеза и ионно-лучевой обработки нанокристаллов в диэлектриках. Рассмотрены применения ионной имплантации для формирования на основе кремния устройств, излучающих в актуальной для коммуникационной техники инфракрасной области спектра. Рассмотрены физические основы применения кремниевых наноструктур в запоминающих устройствах, в том числе в элементах памяти нового поколения RRAM, солнечных элементах и др. Цель и задачи курса состоят в ознакомлении студентов физических факультетов ВУЗов с одним из новейших направлений микро- и наноэлектроники.

Имя файла: kurs_lekcij.pdf

Размер файла: 2913.99 Kb

Если закачивание файла не начнется через 10 сек, кликните по этой ссылке