Комплект оборудования для энергодисперсионного анализа

 (Princeton Gamma-Tech, США)

Назначение: изучение состава твердых тел, структуры и дефектов кристаллов в процессе ионной имплантации.

Объекты исследований:

Характеристики установки:

Методика реализована на ионно-лучевой установке ИЛУ-200 и основана на регистрации характеристического рентгеновского излучения, возбуждаемого при ионном облучении твердых тел.

Комплект оборудования включает:

- криостат, оснащенный специальным сверхтонким полимерным окном,

- детектор мягкого рентгеновского излучения на основе высокочистого германия IGX50129HT (разрешение – 129 эВ на линии Mn K_a 5,9 кэВ),

- спектроскопическую систему Quantum System 4004X (производитель Princeton Gamma-Tech.) для энергодисперсионного анализа.