Спектроскопический эллипсометр PhE-102

(Micro Photonic Inc.) 

Назначение: измерение показателя преломления, коэффициента экстинкции и толщины тонких пленок на различных подложках.

Объекты исследования: объемные образцы, тонкие пленки, многослойные оптические покрытия.

Характеристики установки:

• Спектральный диапазон: 250-2100 нм
• Минимальный шаг по длине волны: 1 нм
• Диапазон углов падения: 20⁰ - 90⁰