В курсе лекций изложены процессы, лежащие в основе применения ионных пучков (ионной имплантации и ионного облучения) для создания светоизлучающих структур на базе кремния и оксида кремния, а также для управления их характеристиками. Излагаются механизмы фото- и электролюминесценции нанокристаллов кремния. Описаны основы методов ионно-лучевого синтеза и ионно-лучевой обработки нанокристаллов в диэлектриках. Рассмотрены применения ионной имплантации для формирования на основе кремния устройств, излучающих в актуальной для коммуникационной техники инфракрасной области спектра. Рассмотрены физические основы применения кремниевых наноструктур в запоминающих устройствах, в том числе в элементах памяти нового поколения RRAM, солнечных элементах и др. Цель и задачи курса состоят в ознакомлении студентов физических факультетов ВУЗов с одним из новейших направлений микро- и наноэлектроники.
РФФИ поддержал международный проект под руководством проф. Тетельбаума Д.И. в области перспективных полупроводниковых материалов
Разработки НИФТИ ННГУ были представлены на Международном форуме "Открытые инновации" в Сколково
Университет Лобачевского впервые вошел в международный рейтинг Times Higher Education Subject Rankings 2020 года по направлению "Инженерные науки и технологии"
Заведующий лабораторией Михайлов А.Н. принял участие в международном форуме "Микроэлектроника 2019"
Поздравляем инженеров отдела №5 НИФТИ ННГУ с победой в конкурсе на получение Стипендий Президента РФ и Правительства РФ на 2019/2020 учебный год!
Курс лекций по ионной имплантации
Имя файла: kurs_lekcij.pdf
Размер файла: 2913.99 Kb
Если закачивание файла не начнется через 10 сек, кликните по этой ссылке