В курсе лекций изложены процессы, лежащие в основе применения ионных пучков (ионной имплантации и ионного облучения) для создания светоизлучающих структур на базе кремния и оксида кремния, а также для управления их характеристиками. Излагаются механизмы фото- и электролюминесценции нанокристаллов кремния. Описаны основы методов ионно-лучевого синтеза и ионно-лучевой обработки нанокристаллов в диэлектриках. Рассмотрены применения ионной имплантации для формирования на основе кремния устройств, излучающих в актуальной для коммуникационной техники инфракрасной области спектра. Рассмотрены физические основы применения кремниевых наноструктур в запоминающих устройствах, в том числе в элементах памяти нового поколения RRAM, солнечных элементах и др. Цель и задачи курса состоят в ознакомлении студентов физических факультетов ВУЗов с одним из новейших направлений микро- и наноэлектроники.
В еженедельнике "Аргументы и факты" (АиФ-Нижний Новгород) вышло интервью с А.Михайловым, зав. лабораторией физики и технологии тонких пленок НИФТИ ННГУ
В НИФТИ ННГУ с использованием ионной имплантации разработан уникальный УФ-детектор нечувствительный к солнцу (solar-blind photodetector)
В еженедельнике "Аргументы и факты" (АиФ-Нижний Новгород) вышло интервью с М. Денисенко, зав. лабораторией Теории наноструктур НИФТИ ННГУ
Коллектив НИФТИ ННГУ поздравляет аспирантов физического факультета ННГУ - сотрудников НИФТИ ННГУ с победой в конкурсе на получение стипендий им. академика Г.А. Разуваева на 2018-2019 учебный год!
Коллектив НИФТИ ННГУ поздравляет своих сотрудников - молодых кандидатов наук с победой в Президентской программе исследовательских проектов РНФ!
Курс лекций по ионной имплантации
Имя файла: kurs_lekcij.pdf
Размер файла: 2913.99 Kb
Если закачивание файла не начнется через 10 сек, кликните по этой ссылке